Système de gravure SAMCO RIE-10NR

Samco RIE 10NR

Système de gravure SAMCO RIE-10NR

Le SAMCO RIE-10NR est un système de gravure sèche complètement automatisé capable des opérations les plus exigeantes pour les produits chimiques à base de fluor. La gravure est faite avec une détérioration minimale de la paroi latérale et avec une haute sélectivité entre les matériaux, capable de transformer les tranches jusqu’à 8” de diamètre. La commande tactile informatisée permet le contrôle des paramètres, l’enregistrement des recettes et le stockage.

Parmis les applications se trouve le graveur anisotrope pour  toutes sortes de pellicules minces de silicium, de composés semi-conducteurs et métaux réfractaires incluant : Si, SiO2, Poly-Si, Si3N4, GaAs et Mo, la fabrication des micromachines et l’analyse de défaillance.

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