Zeiss GeminiSEM 500

Zeiss GeminiSEM 500 avec un détecteur EDS de Bruker

Notre système SEM est une colonne Zeiss Gemini 500 qui utilise un filament d’émetteur de champ thermique Schottky pour l’imagerie entre 0.1 et 30 kV pour l’imagerie de résolution sous-nanomètre. Le système est capable de varier la pression dans l’enceinte d'échantillonnage pour atténuer pour le chargement des échantillons non adiabatiques.

Les images peuvent se prendre avec les détecteurs suivants, ou des combinaisons correspondantes, pour l'imagerie optimale d’une large gamme d’échantillons avec de hauts contrastes et l’avarie minimum de l’échantillon. Notre outil est équipé avec les détecteurs suivants :

  • Détecteur à électrons rétrodiffusés de 4-voies (BSD): Fournis l’imagerie de contraste de composition et l’imagerie topographique. Utiliser souvent pour l’analyse de défaillance des métaux.
  • Inlens SE: Pour la topographie. Excellent pour l’imagerie à basse tension, à effraction minimale.
  • Détecteur à électrons secondaire (SE2) : Pour l’imagerie topographie au voltage élevé
  • Bruker EDS : Détecteur x-rays pour l’identification de tâches des matériaux composites d’un échantillon
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