Aligneur de masques – OAI modèle 204IR

Aligneur de masques – OAI modèle 204IR

Cet aligneur de masques est capable d’alignement recto et verso (en utilisant l’imagerie IR).

L’aligneur comporte des modes de contact doux, contact dur et contact en dépression.

L’outil utilise une lampe de 350 Watt I-line Near UV qui est calibré à une intensité de mW/cm^2 à I-line (365 nm).

Les deux microscopes d’alignement ont une séparation de 48 mm au minimum, et un champ de vision d’environ 300 microns. L’exactitude d’alignement de l’ordre de 1-2 microns est possible pour l’alignement recto.

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