Salle propre jaune (333A)
Information général
Le NanoFab au Centre de recherche en photonique fourni à ses utilisateurs un libre accès à des outils à la fine pointe de la technologie, spécialisés en nanofabrication et en caractérisation.
Nos installations NanoFab sont tout autant accessibles aux chercheurs académiques qu'aux chercheurs industriels, ce qui rend le NanoFab idéal pour le développement et la fabrication de prototypes. Le NanoFab est sous la direction du directeur, une adjointe administrative, un gérant de laboratoire et deux technologistes en laboratoire. Cette équipe entretient les installations, forme et assiste les utilisateurs, et fourni des services de nanofabrication afin d'aider ses clients à accomplir leurs objectifs de recherche.
- Dépliant publicitaire pour le laboratoire de Nanofabrication (version PDF, 291 KB)
- Visite virtuelle du laboratoire de Nanofabrication (version PDF, 2769 KB)
- Demande de subvention – Promotion standard pour le NanoFab (version PDF, 426 KB)
- Téléchargez le Manuel de sécurité et protocoles de laboratoire du NanoFab (anglais seulement) (version PDF, 1476 KB)
- Lien pour Skedda pour les réservations d'outils
Type d'accès
Nos laboratoires sont situés au troisième étage du Complexe de recherche avancée (CRA) de l'Université d'Ottawa (25, rue Templeton). Il y a trois laboratoires: chimie humide, métrologie, et salles propres blanche et jaune (Classe 10,000).
Salle propre blanche (333B)
Tous nos laboratoires ont une capacité de transformation de plaquettes et de pièces ayant jusqu'à quatre pouces de diamètre, à l'exception de certains outils de lithographie, qui acceptent des plaquettes ayant jusqu'à deux pouces de diamètre, ainsi que de petites pièces.
Veuillez faire référence a notre page Accès aux utilisateurs pour plus d'information.
Heures d'opération
- Installations : Les installations sont supervisées lundi à vendredi de 8h30 à 17h00, à l'exception des jours fériés
- Bureau administratif : lundi à vendredi de 8h00 à 16h00, à l'exception des jours fériés
Équipement et applications
Veuillez vous référer à la liste ci-dessous pour plus d'information sur un équipement spécifique et ses applications.
Les outils répertoriés comme métrologie ou chimie humide sont inclus dans notre paquet métrologie (option de service no 12). Accès à tous les outils dans l’installation (avec l’exception du Zeiss ORION NanoFab HIM/FIB) sont inclus dans notre paquet NanoFab (option de service no 11). Nous offrons aussi l’approvisionnement de services pour tous nos outils (options de services no 1 à 10). Veuillez vous référer aux Grille de frais pour les coûts associés.
Salle propre - 333A (jaune)
L'implantation des installations NanoFab
- Aligneur de masques - OAI modèle 204IR - NanoFab
- Four HMDS – YES-310TA - NanoFab
- Four de séchage sous pression - NanoFab
- Cuve à ultrasons – Elmasonic P - NanoFab
- Plaque chauffante – Model H560A EchoTherm -NanoFab
- Laurell Spin Processeur - WS-650-23 - NanoFab
- Boîte à gants intelligente – Terra Universal - NanoFab
Salle propre - 333B (blanche)
- Pulvérisateur – Quorum 150R - NanoFab
- SEM + Lithographie à faisceau d'électrons – Raith PIONEER - NanoFab
- Évaporateur – Angstrom Nexdep - NanoFab
- Graveur à plasma d'oxygène – PE-50 - NanoFab
- Système de graveur – SAMCO RIE-110ip - NanoFab
- Système de graveur - SAMCO RIE-10NR - NanoFab
- Système de recuit thermique rapide - Solaris 100, SSI - NanoFab
- Profilomètre – DektakXT - Métrologie
- Zeiss Axio Imager M2.M - Métrologie
Salle propre - 333C (blanche)
- Colleuse de tranches AML-AWB - NanoFab
- AFM Park NX10 - Métrologie
- Zeiss ORION NanoFab, Microscope par faisceau ionique hélium (HIM) et faisceau ionique concentré (Gallium - FIB) - Cet outil n’est pas inclus avec nos paquets d’utilisateurs, mais est plutôt facturé à un taux horaire
Chimie humide - 330
- Poste de soudage par refusion – SRO-700 - Chimie humide
- Polisseuse - Ultra Tec Ultrapol - Chimie humide
- Appareil de rodage et polissage - Allied High Tech MetPrep 3/PH-3, avec AD-5 distributeur de produit fluide - Chimie humide
- Machine de découpage en dés - MTI SYJ-800 - Chimie humide
- Système d'électroplacage Legor - 2 litres, 6 stations - NanoFab
Métrologie - 329 & 329A
- Microsoudeuse de fissures – Westbond 7476E - Métrologie
- Ellipsomètre – Horiba UVISEL FUV-NIR - Métrologie
- MFA-Bruker – Dimension Icon - Métrologie
- Metricon – Coupleur modèle 2010 Prism - Métrologie
- Zeiss Gemini SEM 500 - Métrologie