
Système de recuit thermique rapide -
Solaris 100, Surface Science Integration (SSI)
Le Solaris 100 est une système de RTR de chargement manuel pour la recherche et développement et préproduction:
- Capacité de tranches : 1” a 4”
- Plage de température d’opération : température ambiante jusqu'au 1250 °C
- L’option de chauffage du côté supérieur ou intérieur pour réduire le chauffage non homogène
- 9 différentes options de graphique
- Répétabilité excellente